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3次元応力イメージセンサの出力感度向上のための構造体形状の検討

3次元応力イメージセンサの出力感度向上のための構造体形状の検討

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 25A4-D-2

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Investigation of Structure Shape for Improving the Output Sensitivity of Three-Dimensional Force Image Sensor

著者名: 伊藤 大真(豊橋技術科学大学), 大平 瑞希(豊橋技術科学大学), 土井 英生(豊橋技術科学大学), 村上 健介(豊橋技術科学大学), 小笠原 健(ダイキンファインテック), 清水 聡(ダイキンファインテック), 堀尾 智子(豊橋技術科学大学), 赤井 大輔(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), ()

キーワード: 3次元応力イメージセンサ|圧電素子|微細構造体|電位センサアレイ|心筋細胞

要約(日本語): 本論文では, 3次元応力イメージセンサの感度向上を図り、垂直力13 μN、せん断力5.3 μNの微小な力の検出可能性を示した。センサ表面の微細構造で垂直応力とせん断応力を検出することができ, 構造体高さを増加, 面積を縮小させることで, せん断力に対する感度を向上させることに成功し, 構造体形状を変化させることで力応答の計測性能が向上することを実証した。20~40 μNで拍動する心筋組織の動きを検出できる可能性を示した。

PDFファイルサイズ: 1,066 Kバイト

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