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原子時計用MEMSガスセルの量産化を目指した製造・評価技術の新規提案と試作

原子時計用MEMSガスセルの量産化を目指した製造・評価技術の新規提案と試作

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P2-M-1

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): New manufacturing and evaluation technologies aimed at mass production of MEMS gas cells for the miniaturized atomic clocks

著者名: 原 基揚(情報通信研究機構), 清瀬 俊(京都大学), 島田 弥力(東洋紡エムシー), 小田切 雄介(ネオアーク), 平井 義和(京都大学), 波多野 智(ネオアーク), 福岡 政大(情報通信研究機構), 矢野 雄一郎(情報通信研究機構), 五箇 繁善(東京都立大学), 井戸 哲也(情報通信研究機構)

PDFファイルサイズ: 899 Kバイト

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