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電流検出型表面プラズモン共鳴センサのAu/n-Si Schottky界面における拡散の影響

電流検出型表面プラズモン共鳴センサのAu/n-Si Schottky界面における拡散の影響

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P2-M-4

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Au-Si Interdiffusion Effects on Responsivity in Surface Plasmon Resonance Sensors

著者名: 宇梶 尚弥(電気通信大学), 今井 雄貴(電気通信大学), Eslam Abubakr(電気通信大学), 菅 哲朗(電気通信大学)

キーワード: 表面プラズモン共鳴|Schottky障壁|MEMS|相互拡散|経時的安定性

要約(日本語): 電流検出型表面プラズモン共鳴センサは,SiとAu回折格子で構成され,小型かつラベルフリーな化学量センサとして研究されている。しかし,このセンサの検証過程で応答が経時的に低下する現象に遭遇した。安定性向上は重要であるため,原因追究と対策方法の策定に取り組んだ。その結果,Si原子のAu膜表面への拡散が応答低下の原因であり,Au/Si界面に安定した密着層を設けることで,応答の安定性が改善されることが明らかになった。

PDFファイルサイズ: 1,083 Kバイト

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