NVCダイヤモンドカンチレバーによる一軸応力センシング

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P3-C-4

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Uniaxial stress sensing with diamond cantilevers.

著者名: 落合 宥太(東北大学), 張 子龍(東北大学)，廖 梅勇(物質・材料研究機構)，小野 崇人(東北大学)，戸田 雅也(東北大学)

キーワード: 単結晶ダイヤモンド|窒素欠陥カラーセンター|MEMS|高感度センサ|ESR

要約(日本語): 本研究では、単結晶ダイヤモンド製のマイクロカンチレバーを作成した。アンサンブルNVCの全ての結晶軸に均等に磁場がかかるように、静磁場を調節した上で、NVCの蛍光強度スペクトルのピークシフトによる応力計測を行った。その結果、理論値と実験値に大きな差異はなく、NVCの蛍光強度スペクトルを用いることで一軸の応力が測定できることが示された.

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