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Si/SiO2多層膜ミラーを用いた短波赤外広帯域 MEMSファブリ・ペローチューナブルフィルタ

Si/SiO2多層膜ミラーを用いた短波赤外広帯域 MEMSファブリ・ペローチューナブルフィルタ

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P4-PS-1

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Shortwave infrared broadband MEMS Fabry-Perot tunable filter using Si/SiO2 multilayer mirror

著者名: 工藤 慧,(セイコーエプソン), 森田 喜久哉(セイコーエプソン), 佐野 朗(セイコーエプソン), 清瀬 摂内(セイコーエプソン)

キーワード: MEMS|分光フィルタ|ファブリペロー干渉|短波赤外|静電アクチュエータ

要約(日本語): MEMSファブリ・ペローチューナブルフィルタ(FPTF)は生産性が高く小型かつ安価であり、任意の波長を選択できる分光デバイスである。_x000D_ 本論文ではInGaAsイメージセンサの感度帯域と合わせた波長1100~1700nmのSWIR帯域の分光が可能なMEMS FPTFの開発結果を報告する。

PDFファイルサイズ: 641 Kバイト

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