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二重層マスク法を用いたチタン製カンチレバーおよびダイヤフラムの作製プロセスの開発

二重層マスク法を用いたチタン製カンチレバーおよびダイヤフラムの作製プロセスの開発

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P4-PS-11

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Development of a fabrication process for titanium cantilevers and diaphragms using a double-layer mask method

著者名: Qin Yizhi(新潟大学), 寒川 雅之(新潟大学), 安部 隆(新潟大学)

PDFファイルサイズ: 757 Kバイト

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