NDIRガスセンサのための金属ホールアレイ樹脂積層型赤外線吸収体

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P4-PS-13

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Laminated Metal Hole Array/Resin Mid-Infrared Absorber for NDIR Gas Sensors

著者名: 太田 健太(東北大学), 鈴木 裕輝夫(東北大学), 田中 秀治(東北大学)

キーワード: プラズモニクス|プラズモニック結晶|金属ホールアレイ|NDIR|中赤外線吸収体

要約(日本語): 我々は赤外吸収樹脂とバンドパスフィルタとして機能する金属ホールアレイを積層した,新しい波長選択赤外線吸収体である金属ホールアレイ樹脂積層型赤外線吸収体を設計した。FTIR評価により周期3.0μm,直径1.7μmの金属ホールアレイを積層することで,二酸化炭素の吸収帯域幅である波長4.3μmの赤外線を選択的に吸収可能であることを実証した。

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