金回折格子を有する静電型マイクロ振動子短波長赤外光センサの波長依存性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P4-PS-15

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Wavelength dependent Optical Sensor based on electrostatic microresonators with gold diffraction grating for short-wavelength infrared light

著者名: 関 拓郎(神戸大学), 有永 尚樹(神戸大学), 上杉 晃生(神戸大学), 本間 浩章(神戸大学), 菅野 公二(神戸大学), 磯野 吉正(神戸大学)

キーワード: 近赤外分光|プラズモニック構造|静電型マイクロ振動子|光センサ|共振周波数

要約(日本語): 従来の近赤外線検出素子を用いた分光センサは、回折格子やInGaAs等の化合物半導体を用いた冷却型フォトダイオードを用いており、低コスト化、小型化の点で課題があった。そこで、プラズモニック構造を有するSiを用いた静電マイクロ共振器近赤外光センサを提案し、波長依存性を有することを示した。

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