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マイクロシステムファブリケーションに向けたウェハ上でのエッチバックリフトオフ(EBLO)によるPDMSマイクロメーターパターニング
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 25P4-PS-3
グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2024/11/18
タイトル(英語): PDMS Micro-Patterning on Wafer by EtchBack Lift-Off for Microsystems Fabrication
著者名: 王 旭晨(東北大学), 鈴木 裕輝夫(東北大学), 松本 達也(東北大学), 菊田 利行(東北大学), 李 仲民(AAC Technologies PTE.LTD), 田中 秀治(東北大学)
PDFファイルサイズ: 812 Kバイト
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