商品情報にスキップ
1 1

マイクロシステムファブリケーションに向けたウェハ上でのエッチバックリフトオフ(EBLO)によるPDMSマイクロメーターパターニング

マイクロシステムファブリケーションに向けたウェハ上でのエッチバックリフトオフ(EBLO)によるPDMSマイクロメーターパターニング

通常価格 ¥440 JPY
通常価格 セール価格 ¥440 JPY
セール 売り切れ
税込

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P4-PS-3

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): PDMS Micro-Patterning on Wafer by EtchBack Lift-Off for Microsystems Fabrication

著者名: 王 旭晨(東北大学), 鈴木 裕輝夫(東北大学), 松本 達也(東北大学), 菊田 利行(東北大学), 李 仲民(AAC Technologies PTE.LTD), 田中 秀治(東北大学)

PDFファイルサイズ: 812 Kバイト

販売タイプ
書籍サイズ
ページ数
詳細を表示する