Cr-N薄膜横感度を利用した触覚センサ用カンチレバー小型化のための最適平面形状の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P4-PS-37

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Optimal planar shape for miniaturization of cantilevers for tactile sensors using Cr-N thin film lateral sensitivity

著者名: 長野 透也(新潟大学)

キーワード: 触覚センサ|MEMS|マイクロカンチレバー|ひずみゲージ|Cr-N薄膜

要約(日本語): 本研究では、MEMS触覚センサの検知素子であるカンチレバーの平面形状最適化により、従来のMEMS触覚センサの感度を維持しつつ、カンチレバーの更なる小型化を図った。ひずみゲージにゲージ率の高いCr-N薄膜を用い、かつ、カンチレバーの平面形状を自由端に向かって広がる台形形状に変更することで、理論式から想定される値を超える感度が得られることを実験的に明らかにし、センサの小型化に成功した。

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