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支持基板一体型水晶振動子の電極サイズの最適化

支持基板一体型水晶振動子の電極サイズの最適化

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P4-PS-41

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Optimization of electrode size of quartz crystal resonator bonded to a support substrate

著者名: シリトンガ ウィリアム(新潟大学), 新田 智也(新潟大学), 諸橋 奎人(新潟大学), 寒川 雅之(新潟大学), 安部 隆(新潟大学)

キーワード: 水晶振動子|バルク弾性波デバイス|支持基板|水晶振動子マイクロバランス|共振周波数

要約(日本語): 本研究は,支持基板一体型水晶振動子において、電極サイズの最適化を行った。励振電極径2種類,検出電極径5種類を作製し,振動特性によって評価し,最適な組み合わせを選定した。本センサは,励振基板と検出電極を有した水晶基板を重ね合わせるだけで,発振が可能であるが,重ね合わせには位置ずれが生じ,共振周波数がばらつく。検出電極を励振電極よりも大きくすることでばらつきが低減した。最後に選定した組み合わせのセンサがQCMとして用いられることを示した。

PDFファイルサイズ: 728 Kバイト

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