無機ポリマーを用いた水中でのSi基板間の接着

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P4-PS-67

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Adhesion between Si Substrates in Liquid Water using Inorganic Polymer

著者名: 根本 大輝(東北大学), 竹内 魁(東北大学), 日暮 栄治(東北大学)

キーワード: 接合|ペルヒドロポリシラザン|水中接合|プラズマ親水化処理|シリカ転化

要約(日本語): この研究では、水と反応してシリカを形成するペルヒドロポリシラザン(PHPS)を使用した、シリコンチップとシリコンウエハの水中での接合について調査した。実験の結果より、効果的にシリカ転化を促進し、高い接合強度を得ることができた。接合から24時間後に6 MPa以上の接合強度を達成し、PHPSが水中接合のための接着剤として機能することが示された。

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