MEMS応用を鑑みたNd-Fe-B系マイクロ磁石の室温創製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P4-PS-83

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Preparation process at R. T. of Nd-Fe-B micro-magnets applied to MEMS

著者名: 田原 楽飛(長崎大学), 東 倖主(長崎大学), 山下 昂洋(長崎大学), 柳井 武志(長崎大学), 中野 正基(長崎大学)

キーワード: LIFT法|Nd-Fe-B系磁石膜|保磁力|レーザエネルギー密度|MEMS

要約(日本語): すでに我々はMEMSへの永久磁石の応用を鑑み，LIFT法を用いて，熱処理を施すことなく，Nd-Fe-B系マイクロ磁石を基板上に作製できる結果を報告した。本研究では， LIFT法におけるエネルギー密度が，Nd-Fe-B系マイクロ磁石のドット形状や保磁力に及ぼす影響を検討したので報告する。

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