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回折格子とサンプリングモアレ法を組み合わせた光てこ方式カンチレバー

回折格子とサンプリングモアレ法を組み合わせた光てこ方式カンチレバー

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 25P4-PS-93

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Optical cantilever combining diffraction grating and sampling moire method

著者名: 佐藤 颯哉(慶應義塾大学), 白鳥 俊宏(慶應義塾大学), 管 哲朗(電気通信大学), 高橋 英俊(慶應義塾大学)

キーワード: 光てこ|回折格子|干渉模様|カンチレバー|サンプリングモアレ法

要約(日本語): 回折格子とサンプリングモアレ法を用いた光てこ方式のカンチレバーを提案する.提案するデバイスは,スリット形状がパターニングされたガラスと鏡を3Dプリンタで印刷したカンチレバーにはめ合わせている.カンチレバー上方からレーザ光を入射し,反射した際にできる干渉縞をカメラで撮像する.サンプリングモアレ法を用いることで,カンチレバーの微小変形に応じて移動する縞模様の変位を解析可能であることを示した.

PDFファイルサイズ: 2,898 Kバイト

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