カンチレバー型MEMS触覚センサを用いた新たな力印加位置推定方法

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A2-B-3

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Novel method for estimating the position of force application using a cantilever-type MEMS tactile sensor

著者名: 細川 陽史(新潟大学), 水戸部 龍介(新潟大学), 安部 隆(新潟大学), 寒川 雅之(新潟大学)

キーワード: MEMS|触覚センサ|マイクロカンチレバー|ひずみゲージ|空間識別

要約(日本語): 本論文では本研究室で開発されたカンチレバー型MEMS触覚センサにおける力に対する空間感度分布の新しい評価法による力の印加位置の識別方法を提案する。カンチレバーに取り付けた2つのひずみゲージの空間感度分布を係数を変えて組み合わせることで、空間分布の指向性を制御できることが示された。その結果、センサ上のランダムな位置に力を印加した際、力の印加位置を誤差100 μm以下という高い精度で識別することに成功した。

PDFファイルサイズ: 1,079 Kバイト