計測対象の電気特性変化に対応可能なイオンイメージセンサの作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A2-B-5

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Fabrication of ion image sensor that enables adapting to change in electric characteristic of measurement target

著者名: 佐藤 諒芽(豊橋技術科学大学), 本庄 瑠奈(豊橋技術科学大学), 野田 佳子(豊橋技術科学大学), 赤井 大輔(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 木村 安行(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学)

キーワード: イオンイメージセンサ|pH計測|CMOSセンサ|長期計測|特性ドリフト

要約(日本語): 植物体内のpHを測定するための刺入型イオンイメージセンサは,長期測定時に計測対象の特性変動によりpH検出誤差が生じる課題がある.この課題を解決するため,2つの特性の異なるセンサ画素を組み合わせることで,特性変動の影響を除去する手法を提案し,設計・製作を行った.完成したセンサは特性評価により,提案手法に適した性能が得られたため,長期測定時に生じる計測対象の特性変動への対応に期待できる.

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