分光デバイスの実現に向けたフィルタフリー分光センサの作製と波長分光の検証

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A2-B-6

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Development and Verification of Filter-Free Spectroscopic Sensor for Next-Generation Spectroscopic Devices

著者名: 加藤 結衣(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 仲野 翔(豊橋技術科学大学), 井出 智也(豊橋技術科学大学), 野田 佳子(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 赤井 大輔(豊橋技術科学大学), 木村 安行(豊橋技術科学大学), 髙橋 一浩(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学)

キーワード: 分光分析|フィルタフリー|分光センサ|波長検出センサ|エピタキシャル基板

要約(日本語): 本稿では、単画素で分光分析が可能なデバイスの実現に向けたフィルタフリー分光センサの作製と波長分光の検証について報告する。シリコン内部のポテンシャルピークを大幅に変位するため、低不純物濃度のエピタキシャル基板上にデバイスの作製を行った。提案するセンサの検証として3波長分光計測を行い、同時に照射した各波長の光強度算出に成功し、小型分光センサとして、バイオ分野への応用が期待される。

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