2種アクチュエータ構造を利用した3.8mm四方小型圧電MEMSスキャナ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A2-C-3

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): 3.8mm square compact piezoelectric MEMS scanner using two types of actuators

著者名: 岡本 有貴(産業技術総合研究所), 中島 利八郎(慶應義塾大学), 小田 怜(慶應義塾大学), Gorwadkar Sucheta(産業技術総合研究所), 竹井 裕介(産業技術総合研究所), 岡田 浩尚(産業技術総合研究所)

PDFファイルサイズ: 1,382 Kバイト