レーザアニールを用いて一括製作したピエゾ抵抗型カンチレバー

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A2-D-1

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Piezoresistive cantilever batch fabrication using laser annealing

著者名: 中島 利八郎(慶應義塾大学), 菅 哲朗(電気通信大学), 高橋 英俊(慶應義塾大学)

キーワード: ピエゾ抵抗型カンチレバー|レーザアニーリング|ファイバーレーザ|力センサ|レーザ加工

要約(日本語): 本研究では、レーザ加工プロセスを用いたピエゾ抵抗型カンチレバーを提案する。提案するプロセスは、ドーパントがコートされたSiウエハに対して異なる出力のファイバーレーザを照射することで、カンチレバー構造とピエゾ抵抗層をアライメント工程とリソグラフィプロセスなしで同時に形成できる。製作したカンチレバーはひずみに対してほとんどヒステリシス挙動を見せずに抵抗が変化した。また、概算したゲージ率は10以上であったことから、ピエゾ抵抗型センサの製作プロ

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