背面から観察可能なLIGガラスフォースプレート

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A2-D-2

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): LIG glass force plate observable from the underside

著者名: 小田 怜(慶應義塾大学), 中島 利八郎(慶應義塾大学), 高橋 英俊(慶應義塾大学)

キーワード: レーザ誘起グラフェン|フォースプレート|ノッチ構造|レーザ加工|ひずみゲージ

要約(日本語): 本稿では、レーザー誘起グラフェン(LIG)ひずみゲージを搭載した透明ガラスフォースプレートについて報告する。透明フォースプレートの材料は、スピンコートされたポリイミド層を持つガラス基板である。この基板にCO2レーザーを照射することにより、ひずみに対する抵抗変化を示すLIGひずみゲージを容易に作製することができる。ここでは、作製したフォースプレートの評価を行った。

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