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駆動電極の形状と素子配置の工夫による圧電微?超?波トランスデューサリニアアレイの短軸?向へのビーム集束機能の付与

駆動電極の形状と素子配置の工夫による圧電微?超?波トランスデューサリニアアレイの短軸?向へのビーム集束機能の付与

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A2-D-3

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Beam Focusing in Short-Axis Direction of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Linear Array by Using Unique Driving Electrode Geometry and Element Arrangement

著者名: 下山 達也(芝浦工業大学), 吉田 慎哉(芝浦工業大学)

キーワード: MEMS|pMUT|フレネルゾーンプレートレンズ|AlN|ビーム収束

要約(日本語): pMUTリニアアレイにおける短軸方向のビーム発散を改善する方法として、フレネルゾーンプレートレンズの理論をpMUTリニアアレイに適応する方法を提案する。従来のデバイスとは逆位相で駆動するドーナツ型電極を持つpMUT素子を用いたpMUTアレイから送信されたビームは、理論と同様に収束した。これにより、電極の形状やデバイスの配置を変更することで、超音波ビームを調整できることが実証された。

PDFファイルサイズ: 1,620 Kバイト

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