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真空封止とデカップリング構造をともなったForce Rebalance制御式2軸加速度センサ

真空封止とデカップリング構造をともなったForce Rebalance制御式2軸加速度センサ

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A2-D-4

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Force-Rebalance Controlled 2-Axis Accelerometer with Vacuum Sealing and Decoupling Structure

著者名: 川野 遥暉(名城大学), 武田 悠吾(名城大学), 石井 颯太(名城大学), 畑 良幸(名城大学)

キーワード: 加速度センサ|デカップリング構造|Force rebalance|Velocity random walk|応答性

要約(日本語): 加速度センサの高精度化に向けて,真空化によるメカノイズ低減,デカップリング構造による他軸感度の低減,Force rebalance(FR)制御による応答性の向上を図っている。本研究ではデカップリング構造をもつ2軸加速度センサにFR制御を実装し,動作検証を行った。印加加速度に対して線形的なセンサ出力が得られ,Velocity random walkは25~27 μg/√Hzであった。また,真空下におけるセンサ出力の応答性の向上を実証した。

PDFファイルサイズ: 1,270 Kバイト

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