TiNを用いたMEMS水素ガスセンサの設計と作製プロセスの検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A3-PS-10

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Study of design and fabrication of MEMS hydrogen gas sensor using TiN films

著者名: 坂本 拓海(東京工業高等専門学校), 伊藤 浩(東京工業高等専門学校), 新國 広幸(東京工業高等専門学校)

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