1
/
の
1
対向回転放物面鏡投影露光リソグラフィによる任意緩曲面への大パターン形成
対向回転放物面鏡投影露光リソグラフィによる任意緩曲面への大パターン形成
通常価格
¥440 JPY
通常価格
セール価格
¥440 JPY
単価
/
あたり
税込
カテゴリ: 部門大会
論文No: 26A3-PS-2
グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2024/11/18
タイトル(英語): Replication of Rough Patterns on Arbitrarily but Gently Curved Surfaces by Projection Lithography Using a Pair of Faced Paraboloid Mirrors
著者名: 堀内 敏行(東京電機大学), 岩崎 順哉(東京電機大学), 小林 宏史(東京電機大学)
PDFファイルサイズ: 1,653 Kバイト
受取状況を読み込めませんでした
