圧電MEMS超音波トランスデューサの非線形周波数特性領域における安定駆動法の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A3-PS-22

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Stable driving method in non-linear frequency response region of piezoelectric MEMS ultrasonic transducer

著者名: 橋木 宏和(三菱電機), 平田 善明(三菱電機), 紺野 伸顕(三菱電機), 梶山 佳敬(三菱電機), 神田 健介(兵庫県立大学), 藤田 孝之(兵庫県立大学), 前中 一介(兵庫県立大学)

キーワード: 圧電MEMS超音波トランスデューサ|非線形周波数応答|ダイアフラム|初期たわみ|ヒステリシス

要約(日本語): 本論文では、PMUTを安定的に駆動する方法について報告する。PMUTのダイヤフラムは非線形領域で大きな変位で駆動するが、ヒステリシス応答により機械的不安定性を示す。本論文では、ダイヤフラムの初期たわみに起因する硬化と軟化の混合バネ効果が、大きな変位と高い安定性でPMUTを駆動するために有効であることを示す。

PDFファイルサイズ: 631 Kバイト