Cr-N薄膜周方向配置力覚センサの荷重印加出力

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A3-PS-38

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Load application output of Cr-N thin film circumferentially arranged force sensor

著者名: 丹羽 英二(公益財団法人 電磁材料研究所), 伊東 孝洋(ジオマテック), 宮武 正平(ジオマテック), 安藤 千里(ジオマテック)

PDFファイルサイズ: 887 Kバイト