高温環境及び熱酸化による単結晶シリコン特性比較のための引張試験

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26A3-PS-90

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Tensile Test for Comparison of Single Crystal Silicon Properties Under High-Temperature Environment and Thermal Oxidation

著者名: 鹿嶋 優平(立命館大学大学院), 安藤 妙子(立命館大学)

PDFファイルサイズ: 522 Kバイト