薄膜カリウムイオンエレクトレットの表面電位評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P2-B-4

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Evaluation of surface potential in thin film potassium ion electret

著者名: 三笠 雅大(神戸大学), 本間 浩章(神戸大学), 年吉 洋(東京大学 生産技術研究所), 上杉 晃生(神戸大学), 菅野 公二(神戸大学), 磯野 吉正(神戸大学)

キーワード: エレクトレット|MOS構造|表面電位|薄膜|電子デバイス

要約(日本語): 本論文では、厚さ50 nmのカリウムイオンエレクトレット膜を作製し表面電位を実験的に検証した。厚さ50 nmに調整したカリウムイオンエレクトレット膜を持つサンプルを作製し、-5 Vから-50 Vの異なる表面電位を持つよう熱分極工程を行った結果、-28 Vの帯電を与えることに成功した。これは、集積回路の電源電圧を上回りMOS構造にチャネルを形成するのに十分な電圧である。

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