[水素感応磁性層/プラズモン励起層]積層膜による磁気光学式水素ガスセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P2-C-6

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Magneto-optical plasmon system for hydrogen gas sensing application

著者名: 山根 治起(秋田県産業技術センター), 柴田 寿人(秋田県産業技術センター), 石田 拓也(東京大学), 立間 徹(東京大学)

キーワード: 水素ガスセンサ|磁気光学効果|表面プラズモン|水素感応磁性層|CoPt

要約(日本語): 表面プラズモン共鳴による磁気光学効果の増強を利用した水素ガスセンサについて検討を行った。センサ素子は,[Pt/CoPt/Pt]/Ag積層膜で構成され,[Pt/CoPt/Pt]およびAgが,それぞれ,水素感応磁性層およびプラズモン励起層として機能する。表面プラズモンによる磁気Kerr効果の増大とともに,水素-窒素混合ガスの導入/遮断にともなう,磁気光学信号の明瞭な変化を確認することができた。

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