熱伝導式水素センサの長期安定性を目的としたPtの温度抵抗係数のその場計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P3-PS-1

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): In-situ measurement of the TCR of Pt for long-term stability of thermal conductivity hydrogen sensor

著者名: 畑野 舞子(ローム), 赤坂 俊輔(ローム), 神野 伊策(神戸大学)

キーワード: 熱伝導式センサ|マイクロホットプレート|温度抵抗係数|白金|薄膜

要約(日本語): Pt配線の高温アニールによるTCRドリフトをその場計測する技術を開発した。高温アニールによりPt配線の比抵抗は低下し、TCRは上昇する。Pt薄膜の比抵抗は、TCRの増加とともに直線的に減少することから、比抵抗を計測すれば、TCRをその場で計測することができる。TCRのその場計測手法を用いれば、TCRドリフトによるPt温度計の温度計測精度の低下を防ぎ、熱伝導式水素センサの水素検知精度の長期安定性を実現することができる

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