プラズモニックカラーシートの伸縮駆動に向けた静電MEMSアクチュエータの製作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P3-PS-15

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Fabrication of MEMS Electrostatic Actuator for Stretching and Contracting of Plasmonic Color Sheet

著者名: 森 和哉(豊橋技術科学大学), 平沢 朋幹(豊橋技術科学大学), 斎藤 優人(東京工業大学), 藤枝 俊宣(東京工業大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), ()

キーワード: MEMSアクチュエータ|表面プラズモン|SBSナノシート|プラズモニックカラーフィルタ|グレースケールリソグラフィ

要約(日本語): 近年、ウェアラブル端末向けのフレキシブルデバイスの研究が進んでいるが、消費電力が高い問題がある。これを解決するため、本研究では、表面プラズモンを応用したプラズモニックカラーフィルタを駆動させるための静電MEMSアクチュエータの製作方法について検討を行った。結果、グレースケールリソグラフィを用いて製作した傾斜電極で、ナノシートの駆動を実現することができた。これにより、プラズモニックカラーフィルタによる波長制御が可能であることが期待される。

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