小型原子時計用波長可変MEMS-VCSELsの波長安定化熱アクチュエータ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P3-PS-21

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Thermal actuator for wavelength stability in tunable MEMS-VCSELs as a chip-scale atomic clock laser source

著者名: 羽山 由梨(東京大学), メノン ヴィヴェーク(東京大学), 年吉 洋(東京大学)

キーワード: 小型原子時計|微小電気機械|垂直共振器型面発光レーザー|熱アクチュエータ|光圧

要約(日本語): 高精度な時刻同期には原子時計が必要であり、さらなる小型化には安定した波長可変レーザー光源が重要です。私たちは、小型原子時計用波長可変光源としての現在の MEMS-VCSEL の潜在的な問題を特定し、安定性を向上させる可能性のある熱電型MEMS アクチュエータを設計・作製し、プロトタイプデバイスを評価しました。

PDFファイルサイズ: 629 Kバイト