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チューブ付き半密閉空間を有する光波導型微気圧センサの周波数特性 ~チューブ長及びチューブ内径依存性~
チューブ付き半密閉空間を有する光波導型微気圧センサの周波数特性 ~チューブ長及びチューブ内径依存性~
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 26P3-PS-35
グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2024/11/18
タイトル(英語): Dependent of Frequency Characteristics on Tube Length and Inner Dimeter in a Guided-wave Optical Pressure Sensor with Semi-closed Structure
著者名: 鈴木 僚太(新潟大学), 大河 正志(新潟大学)
キーワード: 圧力センサ|ダイヤフラム|光弾性効果|光集積回路|光導波路
要約(日本語): 我々の研究グループでは,津波被害の減災のために津波生成時に生じる微気圧変動の検出ができるチューブ付き半密閉空間を有する光導波型微気圧センサを提案している。センサは圧力に対してハイパスフィルタ特性を有しており,この特性における遮断周波数はセンサ設計の際に重要なパラメータとなる。本研究では正弦波圧力印加実験を行い,遮断周波数とチューブ長及びチューブ内径との関係を明らかにすることとした。
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