超高分解能計測のための圧電ダイアフラム型超音波センサの共振周波数制御法

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P3-PS-43

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Resonant Frequency Control of Piezoelectric Diaphragm Ultrasonic Sensor for High Resolution Measurement

著者名: 山本 純平(京都工芸繊維大学), 山下 馨(京都工芸繊維大学), 衣 正欣(京都工芸繊維大学)

キーワード: 超音波センサ|フェイズドアレイ|ダイアフラム|共振周波数|振動モード

要約(日本語): 疎なアレイセンサにおいても高分解能を保ったまま,ゴーストを抑制することを可能にする複数周波数計測法に適した周波数制御法を検討した。センサの共振周波数制御用電極に対して電圧印加を行い,センサの撓み形状,振動スペクトル,パルス応答振動モードの評価を行った。測定の結果,2 Vと8 Vの電圧を利用することで,複数周波数計測に十分利用可能な周波数制御性が得られることが分かった。

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