単一反射スペクトルのみでの金属薄膜の膜厚・光学定数推定モデルの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P3-PS-5

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Development of the model for estimating thickness and optical constants of metallic thin films using only reflection spectrum

著者名: 森西 優(香川高等専門学校), 前田 祐作(香川高等専門学校)

PDFファイルサイズ: 1,133 Kバイト