紫外プラズモン共鳴を用いた光学式オゾン・アンモニアガスセンサ素子の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P3-PS-53

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Development of Optical Ozone and Ammonia Gas Sensor Elements Using Ultraviolet Plasmon Resonance

著者名: 関口 真由(東京農工大学), 松田 涼(東京農工大学), 小川 裕治( 明電舎), 松下 兼一郎( 明電舎), 池沢 聡(早稲田大学), 岩見 健太郎(東京農工大学)

キーワード: プラズモン共鳴|メタサーフェス|ガスセンサ|紫外域|微細加工

要約(日本語): 本研究では、紫外プラズモン共鳴を利用した光学式ガスセンサ素子の製作と評価について報告する。ガラス基板上にAl板を垂直に配列したメタサーフェスを利用した。各製作プロセスの改善によって構造体同士の連結をなくし、柱構造を立柱することに成功した。製作した構造を走査型電子顕微鏡で観察した。また、製作後反射スペクトルを測定し、プラズモン共鳴の誘起を確認した。

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