基板両面に作製した薄膜抵抗素子を用いた弾性表面波デバイスにおける温度制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P3-PS-67

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Temperature Control for SAW Devices Using Metal Thin Film Resistive Elements Fabricated on Both Sides of a Substrate

著者名: 蜷川 渉(九州工業大学), 村上 直(九州工業大学), 坂本 憲児(九州工業大学), 永野 朝日(九州工業大学), 伊藤 高廣(九州工業大学)

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