SU-8の転写による静電マイクロアクチュエータを有する柔軟カンチレバーの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P3-PS-71

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Development of Flexible Cantilever with Electrostatic Microactuator by Transferring SU-8 Structures

著者名: 梶並 剛(東京科学大学), 石田 忠(東京科学大学)

キーワード: 柔軟カンチレバー|静電アクチュエータ|OsコーティングSU-8構造|構造転写法|

要約(日本語): SEM試料室内で柔軟なハイドロゲルの機械特性を調べるために、静電アクチュエータ付き柔軟カンチレバーを開発した。シリコンに比べ2桁ヤング率の小さいSU-8の構造をフォトリソグラフィで作製し、化学気相蒸着法でオスミウムをSU-8構造の表面に成膜して導電性を付与し、それを基板上の足場構造に接着・転写することで作製した。静電アクチュエータに200Vの駆動電圧を印加したところ、カンチレバー先端の変位量は1.4μmとなった。

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