酸化亜鉛薄膜の高温成膜が与えるガスセンサ特性への影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P3-PS-91

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Gas Sensor Properties Related to High Substrate Temperature in Deposition of Zinc Oxide Thin Films

著者名: 寺戸 優太(千葉工業大学), 安藤 毅(千葉工業大学)

キーワード: 酸化亜鉛|ガスセンサ|薄膜|成膜温度|高温

要約(日本語): 酸化物半導体ガスセンサでは結晶性が，様々なガスセンサ特性に影響を与えることが報告されている。本研究では薄膜の結晶成長に大きく影響を与える成膜時の基板温度を高温度帯まで変化させ，ガスセンサ特性に与える影響を確認した。その結果，基板温度を上昇させることでZnO(100)面への配向が減少しZnO(001)面への配向が向上した。基板温度上昇と共にガス応答感度が向上し，特に反応速度の向上が顕著であった。

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