酸化亜鉛薄膜の結晶成長とガス応答に対する基板の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26P3-PS-93

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Effects of Substrate on Crystal Growth and Gas Response of Zinc Oxide Thin Film

著者名: 佐藤 了哉(千葉工業大学), 安藤 毅(千葉工業大学)

キーワード: 酸化亜鉛|ガスセンサ|基板依存性|結晶性|表面形態

要約(日本語): アルミナ，石英ガラス，α-Al2O3(0001)，Si(100)の4種類の基板上にZnO薄膜を堆積させ，SEMとXRDでその構造を解析し，H2へのガス応答を観測した。非結晶である石英ガラス基板上では配向性を持ったZnOが成長し，比較的高い感度を示した。一方，結晶性のα-Al2O3(0001)基板上でも配向性をもったZnOが成長したが，ガス感度は前者と比較して低かった。

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