MEMS のオープンコラボレーション

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27A1-M-1

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Open Collaboration for MEMS

著者名: 江刺 正喜 (メムス・コア, 東北大学)

キーワード: 微小電気機械システム|半導体微細加工{設備共用|半導体集積回路|センサ

PDFファイルサイズ: 1,948 Kバイト