ガス流と平行な電界を形成可能なガスグリッドによるセンサ応答制御性の向上

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27A2-B-4

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Improvement of sensor response controllability using gas grids capable of forming electric fields parallel to the gas flow

著者名: 代継 海斗(豊橋技術科学大学), 蓑輪 菜穂(豊橋技術科学大学), 水谷 学世(新東工業), 鈴木 譽久(新東工業), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学)

キーワード: においセンサ|ガスセンサ|ガスグリッド|ガスセンシング特性制御|電圧制御

要約(日本語): 本研究では、既存のガスセンサの応答特性を変化させることができるガスグリッドの検証を行った。ガス流と平行な電界を形成するために、Al/TEOS-SiO?/Alの3層薄膜でストライプ構造を形成し、上下のAl層の間に電圧を印加することが可能なガスグリッドを作製した。従来の単純なAlストライプ構造のガスグリッドに比べ、電圧印加によるガスセンサの応答の変化は大きく、我々が提案しているガスグリッドの可能性を拡げるものであった。

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