複数におい感応膜の応答を同時計測可能にした電位検出型CMOSにおいセンサの作製と機能実証

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27A2-B-5

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Fabrication and Functional Demonstration of a Potential-Detecting CMOS Odor Sensor that Simultaneously Measures the Responses of Multiple Odor-Sensitive Membranes

著者名: 上條 友暉(豊橋技術科学大学), 木村 安行(豊橋技術科学大学), 野田 佳子(豊橋技術科学大学), 赤井 大輔(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学)

キーワード: においセンサ|CMOSアレイセンサ|電位センサ|におい感応膜|においセンシング

要約(日本語): 本研究では動作電圧範囲を重複させるアレイセンサの作製から,複数感応膜のにおい応答を同時計測可能にすることを目的に行った._x000D_ 作製したアレイセンサを用いて,におい計測を想定した機能検証を行い,従来では同時計測不可能であった感応膜の応答を,同時計測可能であることを実証した._x000D_ 提案したアレイセンサは多数種の感応膜応答を同時取得可能であることから,多角的な情報の取得につながり,におい計測性能の向上が期待できる.

PDFファイルサイズ: 1,221 Kバイト