触認識のためのひずみゲージ圧電体複合集積化 MEMS触覚センサの電気的過渡応答評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27A2-C-5

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Evaluation of Electrical Transient Response of MEMS Tactile Sensor Combining Strain Gauge and Piezoelectric Capacitor for Haptic Recognition

著者名: 水戸部 龍介(新潟大学), 耿 至?(新潟大学), 安部 隆(新潟大学), 神田 健介(兵庫県立大学), 寒川 雅之(新潟大学)

キーワード: 触覚センサ|MEMS|圧電体|ひずみゲージ|PZT

要約(日本語): 本研究では、触覚センサの入出力特性を調整することで、センサ素子のみで時間的な情報処理を行う新しい触覚センサを提案する。本センサは圧電体の電気的特性を活用し、力の印加速度や振動に応じたセンサ出力の応答性を調整することができる。実験により、圧電体が印加力の時間変化を強調した多様な出力パターンを生成できることを示した。今後、機械的特性も含めたさらなる設計改良が期待される。

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