ハードウェア記述言語を用いたSAE-MEMS振動発電素子の等価回路モデルに関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-PS-16

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): A Simulation Platform for SAE-MEMS Vibration Energy Harvesters using Hardware Description Language on a Circuit Simulator

著者名: 得能 京介(立命館大学), 曽野 記生(立命館大学), 田中 有弥(群馬大学), 山根 大輔(立命館大学)

キーワード: 等価回路|自己組織化エレクトレット|振動発電素子|MEMS|ハードウェア記述言語

要約(日本語): 静電型MEMS振動発電素子は,IoT小型無線センサ端末に向けた自立型電源として注目されている。当グループでは,荷電処理不要な自己組織化エレクトレット(SAE)を用いた発電素子を世界で初めて開発した。本研究では,素子の解析モデルを構築し,業界標準の回路シミュレータVirtuoso(Cadence社)上に発電素子の等価回路モデルを実装したので報告する。

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