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AlGaN/GaN/Si(111)基板を用いた湾曲片持ち梁センサの形状評価

AlGaN/GaN/Si(111)基板を用いた湾曲片持ち梁センサの形状評価

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-PS-36

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Characterization of device shape for curved AlGaN/GaN/Si(111) cantilever sensor

著者名: 長尾 宗良(東京都立大学), 小林 碧音(東京都立大学), 中村 成志(東京都立大学)

キーワード: 窒化ガリウム|触覚センサ|湾曲片持ち梁構造|3次元構造解析|ウェットエッチング

要約(日本語): 本研究では、種々の形状を有するAlGaN/GaN/Si (111)湾曲片持ち梁構造について三次元構造解析を行った。また、解析結果を参考に、三角形の角度が異なるAlGaN/GaN片持ち梁構造について実際にSi (111)下層KOHエッチング行った。その結果、20度の角度の三角形片持ち梁パターンが最も適当であるとわかった。

PDFファイルサイズ: 1,089 Kバイト

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