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支持基板一体型ATカット水晶振動子の1チップ化
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 27P3-PS-38
グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2024/11/18
タイトル(英語): One-chip AT-cut quartz crystal resonator bonded to a support substrate
著者名: 諸橋 奎人(新潟大学), 新田 智也(新潟大学), 寒川 雅之(新潟大学), 安部 隆(新潟大学)
キーワード: 水晶振動子|バルク弾性波デバイス|支持基板|水晶振動子マイクロバランス|結晶方向
要約(日本語): 本研究で作製した振動子は,振動子としての役割を有する水晶基板と電界伝達,機械的補強の役割を有する支持基板で構成されている。支持基板裏に励振電極を配置し1チップ化することで,機械的強度を補強しつつ,ほぼゼロの周波数温度特性を有する振動子として発振可能である。我々は,水晶基板の結晶軸方向に対する影響について評価をした。その結果,貼り合わせる角度を90°にすることで,電気機械結合係数の向上に成功した。
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