Force Rebalance制御をともなった応力式共振加速度センサのシミュレーション技術の構築

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-PS-40

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Development of Simulation Technology for Stress-type Resonant Accelerometer with Force-Rebalance Control

著者名: 千葉 将矢(名城大学), 畑 良幸(名城大学)

キーワード: 加速度センサ|Q値|Force rebalance|非直線性|応答性

要約(日本語): 提案するフォースリバランス制御をともなった応力式共振加速度センサは,励振梁に生じる周波数変調を一定に保つ制御電圧から加速度を検出する。本研究では,システムシミュレーション技術を構築し,動作解析を行った。システムシミュレーションによって得たセンサ特性は,設計計算や有限要素法解析による値と近い値であった。また,センサ出力の過渡特性を得ることができ,提案システムの動作を確認することができた。

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