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AlGaN/GaN/Si(111)基板のKOHエッチングによる湾曲片持ち梁センサの作製
AlGaN/GaN/Si(111)基板のKOHエッチングによる湾曲片持ち梁センサの作製
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 27P3-PS-46
グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2024/11/18
タイトル(英語): Fabrication of curved AlGaN/GaN/Si(111) cantilever sensor by KOH wet etching
著者名: 小林 碧音(東京都立大学), 長尾 宗良(東京都立大学), 中村 成志(東京都立大学)
キーワード: 窒化ガリウム|センサ|ウェットエッチング|KOH|湾曲片持ち梁構造
要約(日本語): 本論文では、AlGaN/GaN/Si(111)基板を用いた湾曲片持ち梁センサの製作に適したエッチングマスクパターンについて述べている。湾曲片持ち梁の抵抗値の変化を検出するためのデバイスマスクパターンおよびその作製プロセスについて検討した。新たに提案したマスクパターンを使用して、Si層のKOHウェットエッチングを実施し、エッチングの進展を確認した。その結果を基にマスクパターンの改善案を提示した。
PDFファイルサイズ: 567 Kバイト
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