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ガラスパッケージを用いた白金超薄膜水素センサの防水性能向上
ガラスパッケージを用いた白金超薄膜水素センサの防水性能向上
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 27P3-PS-48
グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2024/11/18
タイトル(英語): Improvement of Waterproof Performance of Platinum Ultra-thin Film Hydrogen Sensor with Glass Package
著者名: 中山 榛人(岡山大学), 王 裕基(岡山大学), 王 ?(岡山大学), 紀和 利彦(岡山大学)
キーワード: 水素センサ|白金|超薄膜|ガラスパッケージ|防水性能
要約(日本語): 近年,水素の需要増加に伴い,水素の漏洩を検知する水素センサの開発が必要不可欠となっている.そこで,我々は室温で動作可能な白金超薄膜水素センサを開発している.しかし,センサの構造上,水や埃など外的要因の影響が大きい.そこで,防塵防水用のガラスパッケージを開発し,耐水性向上に取り組んできた.本研究では,防水実験を行い,IPコードの保護等級7に該当する防水性能を確認した.
PDFファイルサイズ: 674 Kバイト
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